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福建雅马拓等离子清洗机,厦门进口等离子清洗机厂家,等离子清洗机原理

天狼影视点击次数:2221  发布时间:2013/10/31

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公司名称:厦门科睿特仪器有限公司 型 号:PDC200 生产地址:中国大陆 已获点击:2221 简单介绍: 日本yamato等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510|GAS PLASMA DRY CLEANERS,主要用于CSB/BGA/COB基板的等离子处理,有机膜和金属氧化膜的除去,印刷电路基板的干洗,界面活性处理等;适用于科研试验的等离子清洗机。
详细内容

 主要特点:

1、RIE模式标配(DP切换为选购);
2、等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面;

用途:

1、CSB/BGA/COB基板的等离子处理;
2、有机膜和金属氧化膜的除去;
3、电路基板的干洗;
4、活性处理。

 
技术参数:

 

型号
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式(DP选配)
DP模式
DP/RIE切换方式
电极构造
平行平板电极(固定)
高频输出功率
MAX300W
                   Max 500W
频率
13.56MHz
控制方式
自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
电极尺寸
250×170mm
400×200mm
反应室材质
                                        一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4
反应气体
2系统(Ar/O2
填充气体
N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油回旋真空泵(排气量345L/min)
油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口
反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
电源
单相AC100V 15A 50/60Hz
                                         三相AC100V 15A 50/60Hz

标签:福建雅马拓等离子清洗机   厦门进口等离子清洗机厂家   等离子清洗机原理   

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